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IDM-HP03微热板芯片

产品简介

IDM-HP03 微热板芯片是基于MEMS加工工艺制造出来的微加热器件,用于MEMS气体传感器。采用先进的悬梁微结构,其特点是小体积、功耗低,可靠性高。此款微加热器集成微型加热器和叉指电极,微型加热器用于为气体传感器提供合适的工作温度,叉指电极用于检测气敏材料的电阻变化。

微加热器优点

小体积、低功耗、可靠性高。


产品参数

产品型号

IDM-HP03

产品类型

MEMS微加热器

常温电阻

45±5Ω

加热材料

Pt

测试电极材料

Pt

加热电压

2.0V


温度曲线

注意事项

1. 请勿触碰MEMS芯片表面中心区域,会造成不可逆转的损坏;

2. 工作电压建议小于等于3.3V;

3. 芯片贴装时,注意静电防护;

4. 温度与电压关系图中的温度是由红外热像仪测量的,数值仅供参考。


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